關(guān)鍵尺寸測量的一個(gè)重要原因是要達(dá)到對產(chǎn)品所有線寬的精確控制,因?yàn)樾酒P(guān)鍵尺寸的變化通常顯示出半導(dǎo)體制造工藝中一些關(guān)鍵環(huán)節(jié)的不穩(wěn)定性。 關(guān)鍵尺寸測量需要精度和準(zhǔn)確性優(yōu)于2nm的測量儀器,能夠獲得這種測量水平的儀器是掃描電子顯微鏡(SEM)。